์ ์ฝ๋ณ
-
'๋ฐ๋ ค๋๋ฌผ' ์ ์ผ์ฑ ๋๋ฌผ ๊ด๋ฆฌ์นดํ ๊ณ ๋ฆฌ ์์ 2023. 10. 6. 00:54
๋ฐ๋ ค๋๋ฌผ ์ ์ผ์ฑ ์ข ๋ฅ์ ์ ํ โฃ ์ ์ผ์ฑ ์งํ ๋๋ฌผ์ ์ ์ผ์ฑ ์ง๋ณ์ ๋ฏธ์๋ฌผ์ ์ํ ๊ฐ์ผ๋ณ์ ์ผ์ข ์ผ๋ก ๋ฏธ์๋ฌผ์ด๋ ๋ณ์์ฒด๊ฐ ์นจ์ ํ์ฌ ์ ์ฒด์กฐ์ง์์ ์ฆ์ํ๋ ๊ฒ์ด๋ค. โถ ์์ธ์ฒด ์ข ๋ฅ ์ ์ผ์ฑ ์งํ์ ์ธ๊ท , ๋ฐ์ด๋ฌ์ค, ๊ธฐ์์ถฉ, ์ง๊ท (๊ณฐํก์ด) ๋ฑ์ ๋ฏธ์๋ฌผ์ ์ํด ๋ฐ์ํ๋ค. 1. ์ธ๊ท โ ์ธ๊ท ์ ํน์ง ์ธ๊ท ์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ๊ดํํ๋ฏธ๊ฒฝ์ผ๋ก ํ์ธ์ด ๊ฐ๋ฅํ 0.5um์ด๋ฉฐ, ํ๋์ ์ธํฌ๋ก๋ง ์ด๋ฃจ์ด์ง ๋จ์ธํฌ ๋ฏธ์๋ฌผ์ด๋ค. ์ด์์๋ ์ธํฌ ๋ฐ์์ ์์กด๊ณผ ์ฆ์์ด ๊ฐ๋ฅํ์ฌ ์ฃผ๋ณ ํ๊ฒฝ์ ๋ง์ด ์กด์ฌํ๊ณ ์์ด, ๊ฐ์ผ๋ ์ํ์ด ๋๊ณ ์ธ๊ท ์ ์ ๊ฑฐ๋ฅผ ์ด๋ ต๊ฒ ํ๋ค. โ ์ธ๊ท ์ ์ข ๋ฅ 1) ๋ชจ์์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ถ๋ฅ - ๊ตฌ๊ท : ๋๊ทธ๋ ๊ณต๋ชจ์์ ํํ๋ฅผ ํ๊ณ ์๋ค. - ๊ฐ๊ท : ๊ธฐ๋ค๋ ๋ง๋๊ธฐ ๋ชจ์์ผ๋ก ๊ธธ์ด์ ๋ฐ๋ผ ๋จ๊ฐ๊ท , ์ฅ๊ฐ๊ท ์ผ๋ก ๊ตฌ๋ถํ ์ ์๋ค. - ๋์ ๊ท : ์ด์ด ๊ผฌ์ธ ๊ฒ..